极紫外、软X射线内真空CCD相机-LOTTE-s光谱系列

13.5nm高量子效率,极紫外光刻应用

  • 产地: 德国
  • 型号: LOTTE-s 系列
  • 品牌: greateyes

公司介绍:

成立于2008年的greateyes,是以德国柏林洪堡大学的技术为基础,迅速发展成为国际知名的先进探测器生产企业。如今,其科研与工业客户群体已遍布多个国家。

greateyes开发、生产并销售高性能科学相机。其作为精确探测器,被广泛应用于成像与谱学应用领域。同时,greateyes公司也生产用于太阳能产业的电致荧光与光致荧光检测系统。

出身于柏林的LOTTE是德国greateyes公司最新研发,应用于极紫外,真空紫外和X射线能段的光谱及影像内真空相机。LOTTE集成了目前最前沿的低噪声电子系统和超低温制冷技术,同时保持了紧凑小巧的设计。全新的设计允许从50 kHz至5 MHz灵活地选择所需读出速度。18-bit 的模数转换能够利用CCD传感器的全动态范围,以达到更好表现和更高的信噪比。为匹配不同应用的需求,该相机包括多种类型的传感器可供用户选择。同时LOTTE的低噪声使之成为极弱信号条件下所需的理想相机,它将给您的光谱学和影像研究带来前所未有的可能性。


主要特点

  • 密封设计及超高真空兼容性高达 98% 的量子效率

  • 深度制冷至 -100 °C

  • 18 位动态范围

  • kHz - MHz 灵活读出频率设计紧凑


相机规格表

读出频率50 kHz,  250kHz, 1 MHz, 3 MHz(5 MHz 用于查看模式; 频率可定制)
AD 转换分辨率18-bit
线性度优于 99%
CCD 外延层厚度标准15 μm, 深耗尽类型40 μm
真空馈通法兰CF DN100法兰,其上配有D-sub接口及6 mm水冷进/出口
真空兼容性刀口封接法兰: 10-9 mbar (超高真空)
烘烤温度Max. +80 °C
法兰距6 mm (法兰距可订制)
CCD传感器制冷100 ° C to 20 °C (仅支持水冷)
温度监控于CCD 传感器上,及半导体制冷的热端
数据传输千兆以太网GigE
软件greateyes Vision 软件(Windows 7 / 10)
SDK 和驱动DLL for Windows; LabVIEW, EPICS, Linux, Python以及Tango驱动 (可选)
TTL 接口信号1 Exposure out, 1 trigger in
供电80-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)
认证CE
尺寸9.0 cm (3.54ʺ) × 9.0 cm (3.54ʺ) × 23.5 cm (9.25ʺ)
重量5.0kg


相机型号

LOTTE-s SeriesLOTTE-s 1k256LOTTE-s 2k512
型号代码

FI

FI DD

BI UV1

FI

BI

BI UV1

有效像素(列 × 行)1024 × 2552048 × 515
感光区域26.6 mm × 6.7 mm27.6 mm × 6.9 mm
像素尺寸26 µm × 26 µm13.5 µm × 13.5 µm
最大像素阱容500 ke¯ / 700 ke¯ (DD)100 ke¯
寄存器阱容 1 000 ke¯ / 1 400 ke¯ (DD)400 ke¯

读出噪声典型值 (e¯) 

@ 50 kHz

 @ 1 MHz

 @ 3 MHz

FI       BI       DD

4.8     7.2    6.4 

17.0   18.8   18.0

41.8    43.8   41.8 


4.0

8.9

15.6

暗电流 (e¯/pixel/s)

@ -100 °C

0.0004 / 0.005 (DD)

@ -100 °C

0.00025

增益(counts/e¯)标准模式

高容量模式

0.4 counts/e¯

1 counts/e

0.34 counts/e¯¯

CCD传感器类型前照式 (FI), 背照式 (BI), 深耗尽条纹抑制 (DD),增强型背照式(BI UV1)
缺陷等级

Grade 0 或 grade 1 (标配)

更多详情请见术语表中的Blemish specifications:https://www.greateyes.de/en/glossar.html


量子效率曲线

北京众星联恒科技有限公司

  • 极紫外光刻

  • 软 X 射线光谱

  • 等离子体发射光谱

  • 高次谐波(HHG)光谱

  • X 射线近边吸收精细结构光谱共振非弹性 X 射线散射


北京众星联恒科技有限公司greateyes LOTTE 光谱系列极紫外、X射线相机(众星联恒).pdf



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