13.5nm 极紫外多层膜镜片

1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜

1英寸、13.5nm多层膜反射镜,实测反射率高达70%、现货供应、可以提供反射率测试。

  • 产地: 德国
  • 型号:
  • 品牌: optiX fab

    得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注,近10年的积累,对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生产了近2万片镜片,中大多数都是半导体工业的客户,如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切,我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG,激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用,针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片,并在中国办公室备有库存,以实现镜片的快速交付。


EUV多层膜平面反射镜 AOI = 5 °EUV多层膜平面反射镜 AOI = 45 °EUV多层膜球面反射镜 AOI = 5 °
反射率
R>65% @13.5nmR>67% @13.5nmR>65% @13.5nm
镀膜材料Mo/SiMo/SiMo/Si
AOI
45°
Bandwidth (FWHM)appr. 500 pmappr. 950 pmappr. 500 pm
基底
fused silicafused silicafused silica
尺寸25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm
厚度6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm
面形精度
λ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nm
表面粗糙度σ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rms
曲率半径
--500 mm (± 1 %)


实测反射率

北京众星联恒科技有限公司

北京众星联恒科技有限公司

主要应用:

  • 极紫外相干衍射成像

  • 极紫外显微成像

  • 极紫外光电子能谱

  • 极紫外掩膜版检测

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