SiN / SIC膜
公司介绍：NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广
- 产地： 日本
- 型号：
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
NTT-AT是世界上少数能够提供SiC膜的供应商之一。与SiN膜相比，SiC多晶膜在X射线和电子束照射下具有更优秀的耐久性。我们的SiC膜和SiN膜在基础研究和工业领域，常被用作样品夹具，液体池和真空窗口。
标准款：
材料 | 型号 | 芯片尺寸(mm) | 厚度(mm) | 膜尺寸(mm) | 厚度(nm) |
SiN | MEM-N03001/7.5M | 7.5 × 7.5 | 0.625 | 3 × 3 | 100 |
SiN | MEM-N02001/10M | 10 × 10 | 0.625 | 2 × 2 | 100 |
SiN | MEM-N03002/7.5M | 7.5 × 7.5 | 0.625 | 3 × 3 | 200 |
SiN | MEM-N03002/10M | 10 × 10 | 0.625 | 3 × 3 | 200 |
SiN | MEM-N020027/10M | 10 × 10 | 0.625 | 2 × 2 | 270 |
SiN | MEM-N0302/10M | 10 × 10 | 0.625 | 3 × 3 | 2,000 |
SiN | MEM-N0301/10M | 10 × 10 | 0.625 | 3 × 3 | 1,000 |
SiC | MEM-C03003/10M | 10 × 10 | 0.625 | 3 × 3 | 300 |
SiC | MEM-C0301/10M | 10 × 10 | 0.625 | 3 × 3 | 1,000 |
NTT-AT_SiN 、SIC膜 datasheet 2020.7.16.pdf