SXR反射光栅
光栅类型非等间距曲槽矩形光栅*1基底材料BK-7 or 相近材质尺寸公差±0.2(W)×±0.2(H)中心厚度公差±0.5(T)刻线区域去除距离四周边（小于2mm条纹）的区域有效区域去除距离四周边（小于5mm条纹）的区域刻线密度公差±0.5%划痕和挖痕80-50 (in accordance with MIL-O-13830A)
- 产地： 日本
- 型号：
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
光栅类型 | 非等间距曲槽矩形光栅*1 |
基底材料 | BK-7 or 相近材质 |
尺寸公差 | ±0.2(W)×±0.2(H) |
中心厚度公差 | ±0.5(T) |
刻线区域 | 去除距离四周边（小于2mm条纹）的区域 |
有效区域 | 去除距离四周边（小于5mm条纹）的区域 |
刻线密度公差 | ±0.5% |
划痕和挖痕 | 80-50 (in accordance with MIL-O-13830A) |
Code number | Groove density(at grating center) N (grooves/m m) |
Wavelength range λ1-λ2 (mm) | Detector length length
L
(mm) |
r (mm) |
α
(deg.) |
Mounting parameters r1' β1 r2' β2 (mm) (deg.) (mm) (deg.) |
ri' (mm) |
βi (deg.) |
Dimensions WxHxT (mm) |
coating material | |||
30-001 | 2400 | 1-6 | 23.5 | 237 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-002 | 1200 | 5-20 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-003 | 2400 | 1-7 | 26.8 | 236.7 | 88.6 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235 | 90.53 | 50x30x10 | Au |
30-004 | 2400 | 0.6-4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-005 | 1200 | 3.5-8.5 | 11.1 | 237 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.3 | 233.5 | 90 | 50x30x10 | Ni |
30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
NTT-AT_SXR反射光栅 datasheet 2020.7.16.pdf