XUV宽带反射镜
公司介绍：NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广
- 产地： 日本
- 型号：
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
规格参数：
| No | Design name | AOI | pol. | Peake nergv | Reflectivity | Bandwidth(FWHM) | ||
1 | BBR-85.31.7 | 5 deg | s | 85 eV | 14.6 nm | 3.8% | 31.7 eV | (5.7nm) |
2 |
BBR-80-30 |
5 deg | s | 80 eV | 15.5 nm | 5.1% | 30 eV | (6.1 nm) |
3 |
BBR-75-28.5 | 5 deg | s | 75 eV | 13.8 nm | 6.6% | 28.5 eV | (6.6 nm) |
4 |
BBR-70-27 |
5 deg | s | 70 eV | 17.7 nm | 8.1% | 27 eV | (7.3 nm) |
5 |
BBR-65-25.5 |
5 deg | s | 65 eV | 19.1 nm | 9.3% | 25.5 eV | (8 nm) |
6 |
BBR-60-24 |
5 deg | s | 60 eV | 20.7 nm | 9.8% | 24 eV | (8.6 nm) |
7 |
UBBR-55-39 | 5 deg | s | 55 eV | 22.5 nm | 6.8% | 39 eV | (16.3 nm) |
8 |
UBBR-50-34 | 5 deg | s | 50 eV | 24.8 nm | 6.7% | 34 eV | (18.6 nm) |
天文学
XUV光电子光谱
XUV显微
EUV光刻
等离子体物理
阿秒科学
NTT-AT_XUV 宽带反射镜 datasheet 2020.7.16.pdf
Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments - white paper 20201202