X射线分辨率测试卡
用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准。
- 产地： 日本
- 型号： XRESO系列
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准
优点
恩梯梯尖端技术公司的X射线分辨率评估图被应用于X射线显微镜、X射线微光束分析和X射线成像等需要超高分辨率的X射线分析。此已成为事实上标准的X射线图被广泛应用于世界上许多地方。
恩梯梯尖端技术公司的X射线图的最大特点是高耐X射线辐射性、超清晰图案和低边缘粗糙度。本公司基于Ta吸收体图的SiC膜极其精确，能为用户的X射线分析系统评估提供清晰的图像。
您不尝试一下这事实上标准的性能吗？
特点：
有三种X射线图可应用于各种方面：标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。
有三种X射线图可应用于各种方面：标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。
规格
| 项目 | 标准型 XRESO-100 | 高分辨率型 带较厚Ta 吸收体 XRESO-50HC | 新！！ 超高分辨率 XRESO-20 | |
|---|---|---|---|---|
| 基板 | 材料、尺寸 | Si 10平方毫米 | ||
| 厚度 | 1毫米 | 1毫米 | 0.625毫米 | |
| 膜 | 材料、 厚度 | Ru 20纳米 SiN 2微米 | Ru 20纳米 SiC 200纳米 SiN 50纳米 | Ru 20纳米 SiC 200纳米 SiN 50纳米 |
| 区域 | 1平方毫米 | 1平方毫米 | 1平方毫米 | |
| 对齐 | 基板中间 | 基板中间 | 基板中间 | |
| 图案 | 吸收体、 厚度 | Ta 1微米 | Ta 500纳米 | Ta 100纳米 |
| 最小图案 尺寸 | 100纳米 | 50纳米 | 20纳米 放射形图案 | |
| 图案区域 | 250微米×350微米 | 300平方微米 | 300平方微米 | |
X射线图（高分辨率图）的略图
恩梯梯尖端技术公司的已成为事实上标准的X射线分辨率评估图在世界上被用于企业、大学和研究所。
超高分辨率型 XRESO-20
XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。
| 图的SEM图像 | 图案布局 |
|---|---|
| 100纳米孔 |
①放射形图案 ③④孔图案 ⑤⑥⑦⑧L&S图案 |
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| 50纳米孔 | |
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| 20纳米图案 | 20纳米放射形图案 |
 |  |
超高分辨率型 XRESO-20
XRESO-20是具有20纳米最小图案宽度的超高分辨率评估图。2014年开始销售的此高规格型号最近被应用于超高分辨率X射线成像系统。
| 图案布局 |
|---|
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带较厚吸收体的高分辨率型 XRESO-50HC
XRESO-50HC提供成本合理的50纳米高分辨率。其已被应用于X射线微光束辐射、X射线显微镜和X射线相干成像等各种用途。
| 图的SEM图像 | 图案布局 |
|---|---|
| 放射形图案 相应于图案布局的点（1） |  |
| |
| 50纳米 L&S 相应于图案布局的点（2） | |
 |
NTT-AT_X射线分辨率测试卡.datasheet.2020.8.7.pdf
论文列表
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Shinji Ohsuka，Akira Ohba，Shinobu Onoda，Katsuhiro Nakamoto，Tomoyasu Nakano，Motosuke Miyoshi，Keita Soda和Takao Hamakubo．带Wolter I型反射镜光学和电子碰撞水窗X射线源的实验室尺寸三维X射线显微镜．科学仪器评论，85，093701(2014)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4894468
A. Schropp，P. Boye，J. M. Feldkamp，R. Hoppe， J. Patommel，D. Samberg，S. Stephan，K. Giewekemeyer，R. N. Wilke，T. Salditt，J. Gulden，A. P. Mancuso，I. A. Vartanyants，E. Weckert，S. Schöder，M. Burghammer和C. G. Schroer．相干衍射显微术揭示的硬X射线纳米光束特性．应用物理快报，96，091102(2010)，http://dx.doi.org/10.1063/1.3332591
A. Schropp，R. Hoppe，J. Patommel，D. Samberg，F. Seiboth，S. Stephan，G. Wellenreuther，G. Falkenberg和C. G. Schroer．带相干辐射的硬X射线扫描显微术：超过传统 X射线显微镜的分辨率．应用物理快报，100，253112(2012)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4729942
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Sven Niese，Peter Krüger，Adam Kubec，Stefan Braun，Jens Patommel，Christian G. Schroer，Andreas Leson和Ehrenfried Zschech．带交叉部分多层劳厄透镜的全场X射线显微术．光学快报，22，20008(2014)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4751853
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Mike Beckers，Tobias Senkbeil，Thomas Gorniak，Klaus Giewekemeyer，Tim Salditt和Axel Rosenhahn．重叠关联成像术衍射成像中的漂移校正．超显微术，126，44 (2013)，http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2012.11.006
Akihiro Suzuki，Shin Furutaku，Kei Shimomura，Kazuto Yamauchi，Yoshiki Kohmura，Tetsuya Ishikawa和Yukio Takahashi．伸展厚物的高分辨率多层X射线重叠关联成像术．物理评论快报，112，053903(2014)，http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.112.053903
Yoshio Suzuki．物体的周期性结构和由波前分割干涉仪产生的X射线驻波之间的互相影响．科学仪器评论，86，043701(2015)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4916735
Matthias Müller，Tobias Mey，Jürgen Niemeyer和Klaus Mann．利用来自脉冲气体喷射流的光致等离子体的桌面软X射线显微镜．光学快报，19，23489(2014)，http://dx.doi.org/10.1364/OE.22.023489
F. Seiboth，M. Scholz，J. Patommel，R. Hoppe，F. Wittwer，J. Reinhardt，J. Seidel，M. Knaut，A. Jahn，K. Richter，J. W. Bartha，G. Falkenberg和C. G. Schroer．使用等厚度折射透镜的硬X射线纳米聚集．应用物理快报，105，131110(2014)，http://dx.doi.org/10.1063/1.4896914
R. N. Wilke，M. Vassholz和T. Salditt．利用柯克帕特里克－贝茨聚集的高分辨率X射线重叠关联成像术中的半透明中央站．结晶学报，A 69，490(2013)，http://dx.doi.org/10.1107/S0108767313019612
T. Salditt，S. Kalbfleisch，M. Osterhoff，S. P. Krüger，M. Bartels，K. Giewekemeyer，H. Neubauer和M. Sprung．塔尔博特干涉仪揭示的部分相干纳米聚集X射线辐射特性．光学快报，19，9656(2011)，http://dx.doi.org/10.1364/OE.19.009656
K. Giewekemeyer，M. Beckers，T. Gorniak，M. Grunze，T. Saldit和A. Rosenhahn．水窗中的重叠关联成像术相干X射线衍射成像．光学快报，19，1037(2011)，http://dx.doi.org/10.1364/OE.19.001037
C. Homann，T. Hohage，J. Hagemann，A.-L. Robisch和T. Salditt．近场成像中的虚光束校正的正确性．物理评论，A 91，013821(2015)，http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevA.91.013821
Klaus Giewekemeyer，Hugh T. Philipp，Robin N. Wilke，Andrew Aquila，Markus Osterhoff，Mark W. Tate，Katherine S. Shanks，Alexey V. Zozulya，Tim Salditt，Sol M. Grunerb和Adrian P. Mancuso．高动态范围相干衍射成像：利用混合模式像素阵列检测器的重叠关联成像术． 同步加速器辐射杂志，21，1167(2014)，http://dx.doi.org/10.1107/S1600577514013411
Max Rose，Petr Skopintsev，Dmitry Dzhigaev，Oleg Gorobtsov，Tobias Senkbeil，Andreas von Gundlach，Thomas Gorniak，Anatoly Shabalin，Jens Viefhaus，Axel Rosenhahne和Ivan Vartanyants．利用相干X射线的水窗重叠关联成像术成像．同步加速器辐射杂志，22，819 (2015)，http://dx.doi.org/10.1107/S1600577515005524