XUV滤光片/多层膜半反镜
具有高透明度和长使用寿命的优质 XUV滤光片
- 产地： 日本
- 型号： XUV filters
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
具有高透明度和长使用寿命的优质 XUV滤光片
优点：
恩梯梯尖端技术公司的用于各种XUV实验的极紫外（XUV或EUV）滤光片具有高透明度、高稳定性和长使用寿命。此优质滤光片无针孔、无支撑网和支撑膜，并覆有抗氧化涂层。
恩梯梯尖端技术公司提供的优质无支撑XUV 滤光片在金属薄膜两侧覆有抗氧化涂层，实现了高透明度和长使用寿命。
标准规格：
滤光片尺寸：6毫米×10毫米
滤光片厚度：100纳米
支架尺寸：直径 28毫米
滤光片列表：
Zr（用于波长10至20纳米）
Al（用于波长20至50纳米）
Sn、SiN（用于波长3至5纳米）
In、SiN（用于波长3至5纳米）
尺寸、厚度等可根据需求定制。
示例（滤光片厚度：100纳米）
在本公司的演示中，恩梯梯尖端技术公司的抗氧化Al XUV 滤光片制造后3个月时的透明度比传统Al滤光片高2至5倍。因抗氧化涂层的作用，该XUV 滤光片能长时间稳定使用。
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恩梯梯尖端技术公司的XUV、EUV滤光片因为无支撑网和支撑材料，所以具有出色的高透明度和透射光束质量。因能长时间稳定使用，该滤光片已被用于许多需要长时间辐射的实验环境。
NTT-AT_XUV滤光片、多层膜半反镜 datasheet 2020.7.16.pdf
论文列表
Masatoshi Hatayama，Hisataka Takenaka，Eric M. Gullikson，Akira Suda和Katsumi Midorikawa．高透明度无支撑铝制极紫外滤光片．日本应用物理学杂志，48 122202(2009)，http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.48.122202
Masatoshi Hatayama，Eiji J. Takahashi，Hisataka Takenaka，Eric M. Gullikson和Katsumi Midorikawa．用于软X射线区域内的高阶谐波的高通量分光器．SPIE会议录8077，对VUV、EUV和 X射线光学的损害 III，80770T (2011)，http://dx.doi.org/10.1117/12.887561