X射线菲涅耳波带片
世界上只有恩梯梯尖端技术公司生产基于SiC膜的 FZP。恩梯梯尖端技术公司的由SiC膜和Ta吸收体图案组成的菲涅耳波带片（FZP）具有出色的高耐X射线辐射性、高分辨率和高对比度。恩梯梯尖端技术公司的FZP由干法蚀刻的Ta组成。吸收体图案清晰，S/N比高，成像缺陷少, 能理想地应用于X射线显微镜、X射线微光束辐射和X射线成像。
- 产地： 日本
- 型号： FZP-S38/84等
- 品牌： NTT-AT
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量独特的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。
产品介绍：
世界上只有恩梯梯尖端技术公司生产基于SiC膜的 FZP
优点：
恩梯梯尖端技术公司的由SiC膜和Ta吸收体图案组成的菲涅耳波带板（FZP）具有出色的高耐X射线辐射性、高分辨率和高对比度。
只有恩梯梯尖端技术公司提供基于SiC膜的菲涅耳波带板（FZP）具有出色的高耐X射线辐射性。恩梯梯尖端技术公司的FZP由干法蚀刻的Ta组成。吸收体图案清晰，S/N比高，成像缺陷少, 能理想地应用于X射线显微镜、X射线微光束辐射和X射线成像。
另外，还提供用于软X射线和极紫外（EUV、XUV）领域的Ta图案／SiN膜型FZP和Au板图案／SiN 膜型FZP。并提供台阶式（基诺全息照片）FZP。
特点:
能用于X射线显微镜、EUV显微镜、X射线微光束辐射和同步加速器辐射光束监视等各种X射线应用。
出色的高耐X射线辐射性
最小区域宽度达25纳米
可定制FZP
菲涅耳波带板（FZP）的X射线吸收体图案
可按要求定制设计FZP，满足用户的特殊X射线能量、光学设置和聚焦、图像性能。如果本公司的标准产品商品目录中没有所需的产品，请联系我们。
图案示意图
（φ2.5mm）（光学显微镜）
（φ2.5mm）（光学显微镜）
以对角观察的SEM图
（SEM）
（SEM）
菲涅耳波带板（FZP）的结构
二进制型
台阶（基诺全息照片）式
| 最小区域宽度 | 25纳米 |
| 最大直径 | 5毫米 |
| 膜材料 | SiN, SiC |
| 膜厚度 | 0.2至2微米 |
| 吸收体材料 | Ta |
| 吸收体厚度 | 0.1至2微米 |
| Si基板形状 | 10平方毫米 |
| Si基板厚度 | 1毫米 |
※我们可与用户商讨不同需求。
带规格的标准产品列表
| 型号 | 宽高 比 | 膜 材料 | 膜 厚度 （微米） | ΔRn （纳米） | D （微米） | N | Tm （纳米） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FZP-S38/84 | 4.2 | SiN | 0.15 | 38 | 84 | 550 | 160 |
| FZP-S50/80 | 5 | SiN | 0.2 | 50 | 80 | 400 | 250 |
| FZP-S40/155 | 5 | SiN | 2 | 40 | 155 | 970 | 200 |
| FZP-S50/330 | 8 | SiN | 1 | 50 | 330 | 1,650 | 400 |
| FZP-S86/416 | 8 | SiN | 2 | 86 | 416 | 1,200 | 700 |
| FZP-100/155 | 8 | SiN | 2 | 100 | 155 | 388 | 800 |
| FZP-173/208 | 5.8 | SiN | 2 | 173 | 208 | 300 | 1,000 |
| FZP-200/206 | 8 | SiN | 2 | 200 | 206 | 255 | 1,600 |
| FZP-C234/2500 | 0.6 | SiC | 0.2 | 234 | 2,500 | 2,670 | 150 |
※规格可能会变更，恕不预先通告。
Rn：最外区域宽度
D：直径
N：全区域
Tm：Ta厚度
标准交付周期：12个星期
产品示例
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| 菲涅耳波带板（FZP）直径：250微米，Ta厚度：125纳米，最外区域宽度：25纳米，膜：SiC 2.0微米 | |
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| 菲涅耳波带板（FZP）直径：100微米，Ta厚度：2.5微米，最外区域宽度：250纳米，膜：SiN 2.0微米 | |
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| 菲涅耳波带板（FZP）直径：100微米，Ta厚度：4.0微米，最外区域宽度：400纳米，膜：SiC 2.0微米 | |
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菲涅耳波带板（FZP）中间区域的SEM 图：台阶（基诺全息照片）式菲涅耳波带板（FZP）、Ta图案 | |
NTT-AT_X射线菲涅耳波带片 datasheet 2020.7.16.pdf
论文列表
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Yasushi Kagoshima，Hidekazu Takano，Takahisa Koyama，Yoshiyuki Tsusaka和Akihiko Saikubo．用于高能X射线聚集的串联相位光学波带板．日本应用物理学杂志，50 022503(2012)，http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.50.022503
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Sho Kanzaki，Yasunari Takada，Shumpei Niida，Yoshihiro Takeda，Nobuyuki Udagawa，Kaoru Ogawa，Nobuhito Nango，Atsushi Momose，Koichi Matsuocorrespondenceemail．骨质硬化小鼠的听小骨受损振动．美国病理学杂志，178，1270(2011)，http://dx.doi.org/10.1016/j.ajpath.2010.11.063
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出版物列表（包括合著论文）：
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