LIGA微结构
公司介绍：德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近
- 产地： 德国
- 型号： LIGA微结构
- 品牌： Microworks
公司介绍：
德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。
产品介绍：
X射线深度光刻微加工技术：LIGA
来自Karlsruhe技术研究所与microworks GmbH的定制化高纵横比微结构
产品特点：
高纵横比（>100）金属或聚合物
立角约90°的平行侧壁（1mm高的结构偏差~1μm
侧壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范围）
横向精度在数微米范围（数厘米距离下）
通过双次曝光可得到多种侧壁角度
主要应用：
X射线光栅 (Au ，Ni)
X射线棱镜(SU-8)
X射线狭缝/针孔(Au)
X射线准直器 (Au)
高级微结构零部件(Au)
