订货即发，三日内送达：高品质13.5nm极紫外/EUV多层膜镜
用户您好，我们非常抱歉的通知您：您所订购的 13.5nm 极紫外/EUV 多层膜镜因如下原因，将延迟交货。
出口审核中………
俄乌战争…基底延期交付………
镜片反射率测试在等同步辐射机时中………
………
客户您好，您刚订购的 13.5nm 极紫外/EUV多层膜镜，即将发货。
携手德国 optixfab 公司，我们针对中国市场联合推出 1 英寸的高性能 13.5nm 极紫外/EUV 多层膜镜片，并在中国办公室常备库存，以实现镜片的快速交付。让您不再苦苦等待镜片的交付，无法及时开展实验。
常备镜片参数如下：
参数 | EUV多层膜平面反射镜 AOI = 5 ° | EUV多层膜平面反射镜 AOI = 45 ° | EUV多层膜球面反射镜 AOI = 5 ° |
反射率 | R＞65% @13.5nm | R＞65% @13.5nm | R＞65% @13.5nm |
镀膜材料 | Mo/Si | Mo/Si | Mo/Si |
AOI | 5° | 45° | 5° |
Bandwidth (FWHM) | appr. 500 pm | appr. 950 pm | appr. 500 pm |
基底 | fused silica | fused silica | fused silica |
尺寸 | 25.4/12.7 ±0.1 mm | 25.4/12.7 ±0.1 mm | 25.4/12.7 ±0.1 mm |
厚度 | 6.35 ±0.1 mm | 6.35 ±0.1 mm | 6.35 ±0.1 mm |
面形精度 | λ/20 @ 632.8 nm | λ/20 @ 632.8 nm | λ/20 @ 632.8 nm |
表面粗糙度 | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms |
曲率半径 | - | - | 500 mm |
除了标准的镜片以外，我们还可以根据您的实际需求定制不同基底面型和尺寸、反射中心波长、带宽的镜片。
从基本作用机理来说 13.5nm 极紫外/EUV 多层膜镜是改变入射光的传输方向，同时由于 Mo/Si 多层膜的结构及布拉格衍射机理，它还是一个以 13.5nm 为中心的带通滤光片，带宽在 0.08~1nm 左右。所以我们接下来讲基本不同类似极紫外光源来介绍 13.5nm 极紫外/EUV多层膜镜的应用场景。
EUV光管
基于微焦点 X 射线源改进
使用的 Si L2，3在 13.5nm 的特征辐射，光谱连续
紧凑，稳定，无碎屑污染
EUV功率：30μW 2psr
发光尺寸：可以低至 20μm 直径
由于 EUV 光管的上述特点，使得它非常适用于一些计量的应用场景。
如上图所示，是一个全尺寸极紫外收集镜反射仪，从左往右依次是 EUV 光源，基于 Mo/Si 多层膜的极紫外施瓦茨谢尔德物镜，EUV 收集镜子，极紫外 CCD 相机。其中特制的施瓦茨谢尔德物镜可以改变出射光束张角，确保系统能测试不同尺寸收集镜的收集效率，聚焦光斑尺寸。
HHG/高次谐波极紫外光源
飞秒激光与气体作用产生极紫外光
通常需要搭载极紫外光谱仪以检测光谱的稳定性
无碎屑污染
高相干度
功率约为~μW 量级光束
由于高次谐波极紫外光源具有高相干性，且紧凑，造价相对较低的特点，使得在普通实验室开展相极紫外干衍射成像（CDI）成为可能，而不依赖大型的同步辐射和 FEL装置。
小型激光驱动等离子体（LPP）极紫外光源
脉冲激光与液态 Sn 作用产生极紫外光 亮度高达 140W/mm2*sr
空间及能量稳定性好
多通过多种碎屑技术，输出的极紫外光非常清洁
可收集功率在 10mW 量级
上述的特点使小型激光驱动等离子体（LPP）极紫外光源非常适合用于极紫外光刻掩膜版的缺陷检测。
如上图是一个极紫外暗场反射显微装置，它主要用于检测 Mo/Si 多层膜掩膜版的相位和振幅缺陷。其中 deflection mirror 实现了对于入射 13.5nm 光的带通选取及方向偏折，另外由两块 Mo/Si 多层膜镜片组成的施瓦茨谢尔德镜头，起到了显微放大的作用。
北京众星联恒科技有限公司从 2013 年成立至今，一直专注于极紫外和 X 射线领域，始终致力于为广大科研用户提供先进的极紫外、X 射线核心部件、系统及解决方案。如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。
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