量子效率（Quantum Efficiency）（光谱特性）
2018-12-04 16:41:21
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量子效率（Quantum Efficiency）（光谱特性）
定义为CCD芯片在一定波长入射光的照射下，由光电效应产生的平均光电子数与入射光子数之比，表征了CCD芯片对不同波长入射光的敏感程度。不同波长的光量子效率不同，CCD对某些波长的量子效率可高达98%。
光电子数量：
入射方式
l 当光从栅极一侧入射时，光会被栅极吸收一部分，并且某些波长的光子可能无法穿过栅极和SiO2绝缘层，量子效率低，甚至为0。如果光从衬底一侧入射，就没有栅极和SiO2绝缘层的阻挡和吸收。因此CCD相机有一项重要参数：入射方式，分为前照式和背照式。
前照式（Front-illuminated）：从栅极电极一侧入射
背照式（Back-illumination）：从衬底一侧入射
下图是Greateyes CCD相机不同照射方式的波长-量子效率曲线。可以看出，对波长550nm的入射光，背照式GE xxx xxx BI量子效率约60%，而前照式GE xxx xxx FI只有40%左右
提高量子效率的途径
从上图可以看出，同一款相机不同波长的量子效率是不同的。如果在CCD上加一层AR（Anti-Reflection）Coating抗反射涂层，会显著提高短波长区的量子效率。从上左图可以看出，对350nm波长，GE xxx xxx FI UV比GE xxx xxx FI高很多。
l 一块CCD芯片上有很多个像素时，每个像素都有一个势阱，这些像素就会产生出一幅与光照强度相对应的电荷包图像。
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