低能电子衍射是一种用于测定晶体材料表面结构和薄膜上原子排列的技术。
为此,使用装有准直低能电子束探测器的探针发射电子轰击表面,电子被分散,在荧光屏上可以观察到斑点。上图是用GE 1024 1024 BI MID相机测到的样品材料被电子轰击的衍射图案,相机的高灵敏度使其能检测到弱衍射斑点。