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众星联恒与德国SIRIUS正式签署代理协议,向中国客户提供灵活的X射线衍射解决方案

2021-02-23 13:44:42 16

众星联恒与德国SIRIUS正式签署代理协议,向中国客户提供灵活的X射线衍射解决方案

本着为国内客户提供高端的X射线/SXR/EUV产品及解决方案的想法,众星联恒再一次提高了我们的解决方案提供能力。经过长期的调研及深刻的讨论后,众星联恒与德国SIRIUS公司正式签署了代理协议,成为了SIRIUS在中国区的授权代理。


Sirius公司成立于2015年,是一家材料科学和半导体行业X射线分析解决方案的提供商。作为一家独立的仪器集成商,Sirius不仅向同步辐射用户提供薄膜,表面和原位表征的完整实验室解决方案,还提供X射线半导体计量解决方案以及X射线衍射分析服务。


Sirius可提供的解决方案:


1. 实验室解决方案


北京众星联恒科技有限公司

此套分析仪器集成了Huber的衍射系统和Eulerian CRADLE、及光子计数像素化X射线探测器。



-可以在Linux操作系统或Windows 10上操作此实验室仪器。

-该X射线衍射系统是为同步辐射用户量身定制的。

-同步辐射实验前测试和教学




2. 定制解决方案


北京众星联恒科技有限公司

实验室表面衍射系统


-软件和硬件集成了最新的2D探测器和X射线技术

-微区衍射 

-原位层生长的快速定性分析

-平面x射线衍射

北京众星联恒科技有限公司

多用途的薄膜分析装置,从亚纳米厚度到毫米的小样品


-高分辨X射线衍射 

-平面X射线表面衍射

-掠入射荧光/ 反射率

北京众星联恒科技有限公司

用于四圆x射线衍射的Eulerial Cradle


-结晶薄膜和大块样品

-晶圆mapping可达200mm

-倒易空间图

-织构 / 应力

3X射线半导体计量系统

北京众星联恒科技有限公司

专门用于研发实验室或中试线的X射线半导体计量学实验室设备,特别是化合物半导体,MEMS,高功率器件和后端工艺。


-通过XRR, HRXRD和RSM, GID,晶圆Mapping进行薄膜计量。

-样品台可支持大至200mm的晶圆或200mm x 200mm的刚性/柔性样品。

-自动化测量和分析。

-最先进的专有分析和测量软件。

-设备尺寸:1.2m x 1.3m x 2.1m



X射线薄膜分析是一种确定膜厚,结构参数,组成和应变的成熟技术。膜厚度范围可以从亚纳米到毫米。根据不同薄膜类型,将使用不同的X射线技术以确定感兴趣的参数


此前,众星联恒在系统集成方面提出了自主品牌桌面超快X射线诊断装置,如今Sirius的解决方案将会是我们在系统方案方面的有力补充。作为高端X射线组件及解决方案提供商,众星联恒将持续携手来自全球的高科技领域合作伙伴,为中国广大科研用户提供更加专业的服务和本地技术支持。

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