X射线组合折射透镜-CRL

X射线组合折射透镜

公司介绍:德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红

  • 产地: 德国
  • 型号:
  • 品牌: Microworks

公司介绍:

德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器(选频滤波器)、微弹簧,RF等。


产品介绍:

由于材料中x射线的折射率略小于1,所以x射线透镜有一个双凹透镜原件,每个聚焦元的焦距都非常小。通过线性地对齐许多元件,焦距可以显著地减少到几厘米的范围。

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沿光轴放置许多小透镜元件,使入射的x射线光束逐渐聚焦到一个微米级焦点上。使用90度交替排列的原件使用垂直方向和水平方向都可以实现聚焦。透镜元件的由SU-8光刻胶制成的,像聚合物在硅晶圆上。环氧树脂抗蚀剂SU-8过去常使用在平板印刷过程中,它主要由高灵敏度、高灵敏度、x射线透明,且化学性能好和机械稳定性的特点。目前透镜的X射线稳定性已经测试到了≈2 MJ/cm³。


优势:

光轴不发生改变

聚焦质量不会因长时间曝光而改变

易于安装

菲涅尔透镜可选


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如果你需要CRL镜,请告诉我们

1. 光子能量(KEV)(单色)

2. 光源尺寸(V [µm]× H [µm], FWHM)

3. SD,光源到镜片中心距离(m)

4. WD, 工作距离,镜片中心到焦点距离(mm)

5. 光源和透镜间光学元件(虚拟光源,聚焦元件)的位置和和这些元件所在位置的光束尺寸。

6. 需要的聚焦光斑尺寸:(V [μm]× H [μm], FWHM)

7. 镜头中心到探测器平面的距离


参数:

适用能量范围宽(> 8 keV)

入口孔径:高达1500µm

聚焦尺寸:最小0.5 μm x 0.5 μm

透镜材料:SU-8 (epoxy resist)


聚焦案列: 

                

硬X射线聚焦(标准CRL)

 X射线透镜系统-焦距可变(变焦镜)

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·  点/线聚焦

·  适用于高能应用>100KeV

·  可用作准直透镜

·  用户可通过可移动的聚焦元件来优化工作距离

·  手动或电动驱动

·  100 mm x 120 mm x 100 mm的小巧外形尺寸

多聚焦条件透镜系统(多焦点透镜) 

大口径、低吸收的X射线棱镜透镜

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·  为不同的设置而优化的镜头可以安装在一个镜头快中

·  最多可提供10x10透镜矩阵(在150µm物理孔径下)

·   通过照亮整个光圈可在一个平面上的获得多个焦点

·  聚焦案列:

12.4 keV, WD = 1.6 m

Incident beam size: 1.5 mm x 1.5 mm

Focus point size: 52 μm x 46 μm

Delivery examples (SPring-8)

BL13XU, BL43LXU


北京众星联恒科技有限公司德国Microworks_X射线组合折射透镜.dataheet.pdf


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