XUV滤光片/多层膜半反镜

XUV滤光片/多层膜半反镜

具有高透明度和长使用寿命的优质 XUV滤光片

  • 产地: 日本
  • 型号: XUV filters
  • 品牌: NTT-AT

公司介绍:

NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在全球范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量独特的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上最大的帮助。

产品介绍:

具有高透明度和长使用寿命的优质 XUV滤光片


优点:

恩梯梯尖端技术公司的用于各种XUV实验的极紫外(XUV或EUV)滤光片具有高透明度、高稳定性和长使用寿命。此优质滤光片无针孔、无支撑网和支撑膜,并覆有抗氧化涂层。 
恩梯梯尖端技术公司提供的优质无支撑XUV 滤光片在金属薄膜两侧覆有抗氧化涂层,实现了高透明度和长使用寿命。


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标准规格:

滤光片尺寸:6毫米×10毫米
滤光片厚度:100纳米
支架尺寸:直径 28毫米

滤光片列表:

  • Zr(用于波长10至20纳米)

  • Al(用于波长20至50纳米)

  • Sn、SiN(用于波长3至5纳米)

  • In、SiN(用于波长3至5纳米)

尺寸、厚度等可根据需求定制。


  •   示例(滤光片厚度:100纳米)

在本公司的演示中,恩梯梯尖端技术公司的抗氧化Al XUV 滤光片制造后3个月时的透明度比传统Al滤光片高2至5倍。因抗氧化涂层的作用,该XUV 滤光片能长时间稳定使用。

北京众星联恒科技有限公司


北京众星联恒科技有限公司

北京众星联恒科技有限公司恩梯梯尖端技术公司的抗氧化Al XUV滤光片


恩梯梯尖端技术公司的XUV、EUV滤光片因为无支撑网和支撑材料,所以具有出色的高透明度和透射光束质量。因能长时间稳定使用,该滤光片已被用于许多需要长时间辐射的实验环境。

北京众星联恒科技有限公司NTT-AT_XUV滤光片、多层膜半反镜 datasheet 2020.7.16.pdf

论文列表

  • Masatoshi Hatayama,Hisataka Takenaka,Eric M. Gullikson,Akira Suda和Katsumi Midorikawa.高透明度无支撑铝制极紫外滤光片.日本应用物理学杂志,48 122202(2009),http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.48.122202

  • Masatoshi Hatayama,Eiji J. Takahashi,Hisataka Takenaka,Eric M. Gullikson和Katsumi Midorikawa.用于软X射线区域内的高阶谐波的高通量分光器.SPIE会议录8077,对VUV、EUV和 X射线光学的损害 III,80770T (2011),http://dx.doi.org/10.1117/12.887561

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