EUV光谱法测量超薄箔厚度
2020-03-02 12:57:37
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EUV透射光谱法是基于激光诱导等离子体源的薄膜厚度快速表征方法。激光聚焦在钼靶上，产生特征的等离子体发射，经滤波和单色化后EUV光透射超薄箔。为了测量和箔厚度相关的透射光，需要读出噪声非常低、高灵敏度非常高的相机。使用柏林马克斯伯恩研究所的GE 2048512 BI-UVI相机，标准差小于0.005，箔厚度表征可达纳米精度。